南方財經(jīng)全媒體記者丁莉 廣州報道
3月11日上午，在廣州市增城區(qū)廣州增芯科技有限公司，承載著光刻機的車輛緩緩啟動將設(shè)備運入廠房，這意味著12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項目（以下簡稱“增芯項目”）迎來關(guān)鍵節(jié)點，順利進入調(diào)試投產(chǎn)準備階段。
“光刻機相當(dāng)于晶圓制造的照相機，通過曝光的方式將圖像投射到硅片上，是整個晶圓制造中最關(guān)鍵的核心裝備。”增芯科技總經(jīng)理張亮介紹，項目引進的這臺光刻機產(chǎn)能輸出速率極高，可達到260片/小時，其資金投入占整個工廠建設(shè)投資的約25%，隨著光刻機進廠，正式通線量產(chǎn)也指日可待。
據(jù)悉，增芯項目是省、市重點項目，一期總投資70億元，打造了國內(nèi)第一條12英寸智能傳感器（MEMS）及特色工藝生產(chǎn)線，對廣東集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大。
項目自2022年底動工起，僅用9個月零6天完成自樁基啟動至主廠房封頂建設(shè)，實現(xiàn)了“開工一年裝機”，封頂至今僅5個月多月便迎來了生產(chǎn)線最核心的裝備——光刻機，并步入設(shè)備安裝調(diào)試階段。張亮透露，增芯項目計劃在今年第3季度正式通線量產(chǎn)，并繼續(xù)推進產(chǎn)品良率提升和產(chǎn)能爬坡。
預(yù)計項目一期一階段建成后，將具備年產(chǎn)24萬片12英寸晶圓的生產(chǎn)能力，產(chǎn)品將主要應(yīng)用于新能源智能汽車、超高清視頻顯示、高端裝備、5G、人工智能、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域，能極大滿足廣州在相關(guān)優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域?qū)Π雽?dǎo)體及集成電路的龐大需求，加快補齊產(chǎn)業(yè)鏈短板，突破產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵核心技術(shù)，提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定性和安全性。
近年來，增城積極融入粵港澳大灣區(qū)建設(shè)，高標準規(guī)劃建設(shè)廣州東部中心，加快構(gòu)建以“芯顯車”為主導(dǎo)的現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系，在培育發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)方面，相繼布局了增芯、越海等一批規(guī)模大、能級高、帶動力強的骨干項目，覆蓋了集成電路“四梁八柱”中制造、封測、裝備、材料和平臺等關(guān)鍵環(huán)節(jié)；不斷加快建設(shè)中的高端電子信息新材料產(chǎn)業(yè)園、智能傳感器產(chǎn)業(yè)園也推動著全產(chǎn)業(yè)鏈條完整集聚，助力廣東打造國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展“第三極”。
張亮認為，在此背景下，增芯項目能夠更好輻射整個大灣區(qū)的集成電路芯片需求，并吸引更多產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)質(zhì)資源落戶，有助于推動戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)成鏈集群發(fā)展，助力增城構(gòu)建廣州半導(dǎo)體與集成電路“一核兩極多點”產(chǎn)業(yè)格局中的重要兩極之一，切實為廣州東部中心成形起勢提供強支撐、“芯”動力。
本文鏈接：廣州增芯項目進入調(diào)試投產(chǎn)準備階段，一期一階段可年產(chǎn)24萬片12英寸晶圓http://www.sq15.cn/show-1-7057-0.html
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