在全球科技競爭格局加速重構的當下,半導體產業鏈的自主可控能力已不僅是產業發展的保障,更成為關乎國家科技安全與核心競爭力的戰略核心。回溯過往,中國半導體制造領域曾長期陷入“被動”—在晶圓搬運、真空傳輸等關鍵生產環節,幾乎完全依賴進口設備。國際廠商憑借數十年技術積累與全生態壟斷優勢,牢牢占據全球90%以上的市場份額,形成了難以突破的技術壁壘與市場壁壘,成為制約中國半導體產業向高端邁進的“隱形枷鎖”。
近年來,面對這一產業困境,國家密集釋放多項政策紅利,為關鍵設備與核心零部件國產化替代注入強勁動力。而在眾多“卡脖子”環節中,半導體機器人作為鏈接制造流程、保障精度的核心裝備,國產化進程已從“可選”轉為“必選”。
在此背景下,新時達旗下眾為興正式推出自研的半導體機器人系列產品,并在行業內建成首家 Class 1級潔凈室,實現從設計、驗證到量產的全流程國產化閉環。這標志著新時達在高端制造領域的又一次關鍵突破。
打破潔凈壁壘
自主驅控構筑核心競爭力
半導體制造對潔凈度的要求極為苛刻,任何微小顆粒都可能導致芯片報廢。面對這一行業“零容忍”標準,新時達以系統化思維,重構產品設計,從結構優化、材料擇優到運動控制系統架構,全面針對潔凈與真空環境進行創新突破。
目前,眾為興半導體機器人已達到 ISO Class 2級潔凈標準,并通過德國萊茵TüV SEMI認證及上海國家機器人檢測與評定中心潔凈等級認證,核心性能指標達到國際先進水平。
為了從源頭保障潔凈制造質量,新時達在上海新建行業首個Class 1級潔凈室生產線,專用于眾為興半導體機器人裝配、性能測試與可靠性驗證。潔凈室內溫度濕度、顆粒濃度和靜電控制均按照晶圓廠級標準建設,實現了從產品裝配、設備調試到出廠檢測的全流程潔凈化管理,全面展示了眾為興半導體機器人在潔凈裝配與高精度驗證領域的專業實力與工程能力。
與此同時,新時達旗下眾為興持續深耕運動控制技術二十余年,聚焦“驅控一體化”核心方向,成功自主研發出 SDC420/SDC620系列低壓直驅驅控一體控制器。該系列產品實現了運動控制與伺服驅動的高度融合,相較傳統“控制器+驅動器”分體方案,具備更高的同步性與可靠性,能夠實現±0.05 mm的高精度定位,滿足晶圓級搬運的嚴苛要求。
在真空環境適配方面,新時達采用非接觸式扭矩傳輸技術與低發塵、耐真空材料體系,突破了外資長期壟斷的真空驅動核心壁壘。無論是在真空腔體內的高精度搬運,還是在大氣環境下的高速交接,其穩定性與潔凈性能均達到國際一線水平。
“潔凈、高精度、可控”成為眾為興半導體機器人產品的核心關鍵詞。這不僅是對性能的追求,更代表著中國智能制造裝備企業在高端自動化領域的技術實力和民族自信。
從晶圓制造到封測搬運
構建完整應用版圖
新時達的半導體機器人產品,已實現從大氣環境到真空環境的全場景覆蓋。其產品矩陣包含八大系列、數十款型號,涵蓋晶圓制造、封裝封測、通用搬運等全工藝場景。
眾為興TBA系列 5軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人
在前道晶圓制造環節,產品主要應用于氧化、刻蝕、沉積、清洗等制程的晶圓傳輸與上片下片工位;在封裝與測試環節,機器人承擔載板搬運與自動上下料;同時,在通用物流環節,其推出了針對潔凈環境的轉運與倉儲機器人解決方案。
眾為興AHY系列 4軸真空直驅雙臂Q型晶圓搬運機器人
這些產品均基于模塊化平臺設計,可根據不同客戶需求靈活配置機械臂結構、控制系統和通信接口,并完全符合 SEMI 國際標準,支持快速集成到現有生產設備中。
客戶信任:從驗證走向批量應用
憑借在潔凈性能與控制技術上的突破,眾為興的半導體機器人已陸續在多家晶圓廠與設備廠實現落地應用。
在中芯國際、杭州富芯的生產線中,產品已進入量產階段;在 BYD、芯源微、晶盛機電等客戶的封測與設備制造環節,眾為興半導體機器人已成為企業導入國產化替代方案的重要選擇。同時,新時達還與季華實驗室、吉姆西等科研機構建立聯合測試平臺,用于開展高潔凈度、高精度搬運的驗證實驗。
這些成功案例不僅意味著國產化技術和產品可行性被市場驗證,也代表著國產半導體設備生態正加速走向成熟。
以創新驅動,構筑國產裝備新高地
如今,中國半導體產業正處于“關鍵設備國產化”的攻堅階段。憑借在潔凈環境適配、真空兼容性以及自主驅控一體化技術上的領先優勢,并獲得多家 FAB 與 OEM 客戶的信任與驗證,新時達正加速構建國產半導體機器人技術標桿,為國產設備崛起提供可復制的路徑與行業示范。
從 Class 1 潔凈室的精密落成,到核心產品在晶圓廠與設備廠的量產落地,新時達的技術突破不僅是企業發展的里程碑,更是中國半導體制造“國產化浪潮”的關鍵注腳。作為高端裝備領域的國產力量代表,新時達每一臺半導體機器人的迭代升級,不僅凝聚著中國工程師攻堅克難的智慧與韌勁,更承載著打破國外技術壟斷、構建自主可控產業鏈的時代重任。
在全球半導體產業競爭日趨激烈的當下,新時達以硬核技術實力重塑 “中國制造” 在高端裝備領域的話語權 —— 從核心部件的自主研發到生產場景的深度適配,其突破不僅為中國半導體制造打通了 “卡脖子” 環節的關鍵堵點,更以點帶面推動整個高端制造業向 “智能升級、自主可控” 的方向邁進。這背后,是一家企業對產業使命的堅守,更是中國從 “制造大國” 向 “制造強國” 跨越的生動縮影,彰顯著中國高端制造在全球產業鏈中崛起的堅定底氣與強大勢能。
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