南方財經全媒體記者丁莉 廣州報道
3月11日上午，在廣州市增城區廣州增芯科技有限公司，承載著光刻機的車輛緩緩啟動將設備運入廠房，這意味著12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目（以下簡稱“增芯項目”）迎來關鍵節點，順利進入調試投產準備階段。
“光刻機相當于晶圓制造的照相機，通過曝光的方式將圖像投射到硅片上，是整個晶圓制造中最關鍵的核心裝備。”增芯科技總經理張亮介紹，項目引進的這臺光刻機產能輸出速率極高，可達到260片/小時，其資金投入占整個工廠建設投資的約25%，隨著光刻機進廠，正式通線量產也指日可待。
據悉，增芯項目是省、市重點項目，一期總投資70億元，打造了國內第一條12英寸智能傳感器（MEMS）及特色工藝生產線，對廣東集成電路產業發展意義重大。
項目自2022年底動工起，僅用9個月零6天完成自樁基啟動至主廠房封頂建設，實現了“開工一年裝機”，封頂至今僅5個月多月便迎來了生產線最核心的裝備——光刻機，并步入設備安裝調試階段。張亮透露，增芯項目計劃在今年第3季度正式通線量產，并繼續推進產品良率提升和產能爬坡。
預計項目一期一階段建成后，將具備年產24萬片12英寸晶圓的生產能力，產品將主要應用于新能源智能汽車、超高清視頻顯示、高端裝備、5G、人工智能、工業互聯網等領域，能極大滿足廣州在相關優勢產業領域對半導體及集成電路的龐大需求，加快補齊產業鏈短板，突破產業關鍵核心技術，提升產業鏈供應鏈穩定性和安全性。
近年來，增城積極融入粵港澳大灣區建設，高標準規劃建設廣州東部中心，加快構建以“芯顯車”為主導的現代化產業體系，在培育發展集成電路產業方面，相繼布局了增芯、越海等一批規模大、能級高、帶動力強的骨干項目，覆蓋了集成電路“四梁八柱”中制造、封測、裝備、材料和平臺等關鍵環節；不斷加快建設中的高端電子信息新材料產業園、智能傳感器產業園也推動著全產業鏈條完整集聚，助力廣東打造國家集成電路產業發展“第三極”。
張亮認為，在此背景下，增芯項目能夠更好輻射整個大灣區的集成電路芯片需求，并吸引更多產業鏈優質資源落戶，有助于推動戰略性新興產業成鏈集群發展，助力增城構建廣州半導體與集成電路“一核兩極多點”產業格局中的重要兩極之一，切實為廣州東部中心成形起勢提供強支撐、“芯”動力。
本文鏈接：廣州增芯項目進入調試投產準備階段，一期一階段可年產24萬片12英寸晶圓http://www.sq15.cn/show-4-3819-0.html
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