中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所曾毅研究員團(tuán)隊(duì)近日研制出國產(chǎn)高分辨電子背散射衍射儀（EBSD）樣機(jī)，這標(biāo)志著我國在電子顯微鏡相關(guān)分析測試儀器領(lǐng)域取得突破，為材料科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用提供技術(shù)支撐。
作為掃描電子顯微鏡的關(guān)鍵附件，EBSD能在微米尺度內(nèi)高精度實(shí)現(xiàn)微區(qū)晶體學(xué)顯微結(jié)構(gòu)分析。目前，全球僅有4家國外公司掌握該設(shè)備的制造技術(shù)。面對技術(shù)壁壘，曾毅帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)攻克了菊池花樣標(biāo)定方法、sCMOS（科學(xué)級互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體）相機(jī)、動態(tài)真空密封等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)難題，實(shí)現(xiàn)了從硬件到軟件的全方位創(chuàng)新。
在研發(fā)過程中，團(tuán)隊(duì)不僅從設(shè)備應(yīng)用者轉(zhuǎn)型為儀器研制者，還創(chuàng)新性地提出“局部菊池帶檢測（LKBD）”方法，使平均角度偏差下降了38.5%，顯著提高了條帶識別精度；開發(fā)了基于“晶面間距高精度計(jì)算（誤差<5%）”的輔助標(biāo)定新方法，優(yōu)化了菊池極篩選策略，將平均取向計(jì)算精度提升50%以上……這些技術(shù)的突破，有效保障了國產(chǎn)EBSD系統(tǒng)的準(zhǔn)確性和可靠性。
據(jù)團(tuán)隊(duì)介紹，國產(chǎn)電子背散射衍射儀樣機(jī)的研制成功，實(shí)現(xiàn)了花樣標(biāo)定、相鑒定、面分布采集等進(jìn)口設(shè)備的基本功能，有望提升我國在高端材料表征儀器領(lǐng)域的競爭力。
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